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仪器设备

电镜室联系方式

办公室电话:88830416

地址:中南大学校本部科技楼110

电子束曝光系统

Raith ELPHY Quantum Electron Lithography (kit) 生产厂家:德国Raith公司            

主要性能指标   

 

单次曝光精度约 100nm;套刻精度约 600nm。
 

主要功能

电子束曝光是目前公认的最好的高分辨率图形制作技术。本设备可以制备特征尺寸约100nm的图形的微细加工(详见下图)。主要用于精密二维掩膜制造、微纳器件加工等。  

联系人

尚老师  15273164304     张老师  15388928816     0731-88830416