高等研究中心电镜实验室系中南大学“985工程”公共服务平台重点建设项目之一，引进了一系列国际先进的高端电子显微镜设备：球差矫正透射电镜（Titan 80-300）、TF20场发射透射电镜、双束电镜（Helios Nanolab 600i）。为进一步增强电镜平台的科研测试服务能力，该室于2015年在双束电镜基础上增加了电子束曝光系统，目前该系统已安装调试完毕，将于2016年1月4日试运行，特此公告! 欢迎校内外有关单位研究人员送样检测及合作研究，我们将竭诚为您的高水平研究提供优质测试服务。

试运行开放时间：每周二下午 （14:30-17:30）

联系方式：尚老师（0731-88830416；15273164304）

Email：zhgshang1981@csu.edu.cn

附加说明如下：

仪器名称： 电子束曝光系统

仪器规格型号：Raith ELPHY Quantum Electron Lithography （kit）

仪器功能：电子束曝光是目前公认的最好的高分辨率图形制作技术。本设备可以制备特征尺寸约100nm的图形的微细加工（详见下图）。主要用于精密二维掩膜制造、微纳器件加工等。

主要技术规格： 单次曝光精度约 100nm；套刻精度约 600nm。

高等研究中心电镜室

2015/12/25