仪器型号：Regulus8230

生产厂家：Hitachi

技术参数：

二次电子像分辨率：0.6nm@15kV，0.7nm@1kV，20nA

多探头检测系统：

Top/Upper/Lower/YAGBSE

EDX分辨率： 125 eV (Mn-Ka)

EBSD： 3000帧/秒

能量过滤器

应用范围：

1、SEM扫描电子显微镜结构分析，尤其是低电压高分辨成像。

2、EDX能谱分析。

3、EBSD背散射电子衍射分析。

主要特点：

低电压高分辨成像，更好的观察样品表面细节，并且可以防止高分子等样品受热损伤；同时，可以得到样品不同深度的表面形貌、成分和电位衬度等信息。全新的冷场电子枪，使得冷场电镜的束流大小和稳定性有了明显提升，满足了大束流分析的需求，是一台集高分辨和分析功能于一体的扫描电镜。

吴老师 15200890109 0731-88830416