仪器型号：双束电镜（Helios 600i）

样品为镍基高温合金，其中含有很多析出相和夹杂相。本实验的研究目标是多层核壳碳氮化物夹杂相的结构。用传统的电解双喷或氩离子减薄方法，很难制备出夹杂相的透射电镜样品。利用Helios600i FIB-SEM双束电镜，可对碳氮化物夹杂相进行精确定位，并对夹杂相进行原位离子加工、提取、减薄，最终制备出满足透射电镜观察要求的样品。详细步骤，参见图中说明。