仪器型号：双束电子显微镜（Helios 5UC）

一、最高质量、超薄S/TEM样品制备

用于S/TEM分析的样品制备仍被认为是材料表征实验室中最关键但具有挑战性和耗时的任务之一。Helios 5 DualBeam的最新技术创新，结合最易于使用、最自动化的AutoTEM 5软件和赛默飞世尔科技的应用专业知识，使所有经验水平的用户能够实现各种材料最快、最简单的制备特定、超薄HR-S/TEM样品。AutoTEM 5软件支持无人值守的全自动TEM样品制备工作流程，并支持各种使用案例，包括上下、反转和平行表面取样。

使用Helios 5 UX DualBeam生产的最高质量、超薄薄片（<100> SrTiO3）的60kV HR-STEM图像

二、3D纳米原型制备

纳米级制造的器件和结构具有许多实际应用，并且进一步发展的潜力仍在增长。然而，将最新的想法和设计转化为真实的研究、测试和原型设计可能会带来重大的技术障碍。Helios 5 DualBeam专为材料科学领域最具挑战性的电子显微镜任务而设计，能够快速、精确地各种复杂结构切割和沉积，无论是临界尺寸小于10 nm的器件还是在大面积上多种图形制备。

由多层图案制成的纳米流体系统，采用Helios DualBeam和NanoBuilder软件制成。这是用单一的自动化工艺制造的铂加热带的沉积和纳米流体通道的切割。